微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1997年
006期
作者:游树达
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文叙述了光刻掩模的缺陷对IC成品率的影响,着重介绍了缺陷产生的原因及消除的方法,并对国内外光刻掩模生产现状作简要介绍. |
| 关 键 词：掩模 缺陷 定义缺陷 保护膜 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1997年
006期
作者:荣莹
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| 关 键 词：数字模型 铜淀积 无电解 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1997年
006期
作者:苏雪莲
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文主要阐述了数字信号处理器DSP(DigitalSingnalProcessor)从问世以来,各发展阶段每代产品所使用的工艺技术、市场规模、应用前景等.文章中着重介绍了通用性、特殊用途、用户定制DS |
| 关 键 词：数字信号处理器(DSP)定点 浮点 多媒体 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1997年
006期
作者:张玉芬
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：静电感应晶闸管 双极型晶体管 导通电阻 电力电子器件 静电感应晶体管 电力电子技术 电力MOSFET MOS场效应晶体管 绝缘栅双极晶体管(IGBT) |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1997年
006期
作者:龙华
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| 关 键 词：数字照相机 微型照相机 IRVINE 成像数据 FLASH存储器 图像存储 安全控制 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1997年
006期
作者:荣莹
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| 关 键 词：1996年上半年 半导体生产 达到生产能力 生产能力的利用 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1997年
006期
作者:张纯蓓
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 随着IC的高速化、高集成化、高密度化和高性能化,电路特征尺寸不断缩小,多层布线在IC制造中的地位日臻重要.该文介绍了多层布线的技术趋势与特点以及多层布线的基本结构、材料和铝布线可靠性、CMP等几个热点 |
| 关 键 词：多层布线 介质材料 互连金属 通孔 栓塞 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1997年
006期
作者:张玉芬
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：半导体分立器件 分立器件产业 新型电力电子器件 |
