微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:赵梦璧
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：SIMS分析 杂质元素 相对灵敏度因子 二次离子 技术支援中心 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:李世兴
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：集成电路设计 半导体市场 分立器件 设计规则 半导体工业 半导体生产 工艺技术 半导体业 半导体产业 生产线 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:洪雷萍
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| 关 键 词：硅氧烷聚合物 介质常数 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:BMUEA
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| 该文介绍了一种LPCVD管的NF3现场清洗方法.与传统的方法相比,现场清洗可提高设备的利用率和产量,同时降低化学材料的损耗.通过附力.泵系统对残余物进行分流消除了对LPCVD系统本身的泵站的损害,安装 |
| 关 键 词：氮化硅 现场清洗 LPCVD 多晶硅 腐蚀速率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:俞诚
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：超高频晶体管 氮化硅 多晶硅发射极工艺 发射区 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:益文
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| 关 键 词：NEC公司 软件开发 中国科学院 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:崔文兵
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：双极电路 质量一致性 失效模式 失效机理 失效分析 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:胡光
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| 关 键 词：冲电气 布线技术 干腐蚀 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:石松
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| 关 键 词：薄膜晶体管 LCD生产线 日本 半导体生产线 生产能力 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:李祥
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| 集成电路的发展使硅槽的应用越来越广泛,如硅槽隔离和硅槽电容等等,它们将使器件的性能得到很好的改善.我们侧重研究了以Cl2和SF6为腐蚀剂的硅槽刻蚀工艺,对气体流量、射频功率和反应压力以及电极温度等工艺 |
| 关 键 词：选择比 等离子体密度 "黑硅" 反应室 硅槽刻蚀 聚合物 反应压力 工艺条件 |
