微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
024 卷
003期
作者:李立芳
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| |
| 关 键 词：掩模 IC 精密掩模 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:长风
|
| |
| 关 键 词：第三季度 销售额 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:张纯蓓
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| |
| 关 键 词：IC市场 微机 计算机 显示器 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:黄卫
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| |
| 关 键 词：电子束 剖面分析 扫描电镜 二次电子发射 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:刘文俊
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| |
| 关 键 词：集成电路 彩色电视机 大屏幕彩电 大屏幕彩色电视 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:毛成烈
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| 语音ICCS5209采用2μm硅栅CMOSSMSP工艺,集成元件数约12万个,其中时序逻辑元件数约为4000个.整句发声时间为3秒钟.该电路于1994年6月通过MOS大线国家验收,并于当年下半年投入生 |
| 关 键 词：工艺优化设计 语音电路 成品率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:吕军
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| 该文详细阐述了1兆位电路接触孔/通孔全干法终点监控刻蚀工艺及后处理技术.扫描电镜分析表明,经该技术刻蚀后的接触孔/通孔底部条宽损失小于0.1μm,侧壁过渡平缓,有利于金属的覆盖. |
| 关 键 词：各向异性刻蚀 各向异性腐蚀 各向同性腐蚀 聚合物 均匀性 工艺条件 接触孔 腐蚀速率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:益国
|
| |
| 关 键 词：上市量 半导体产品 台湾地区 10年间 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:于向东
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 在发展流动亚相法制备高粘度聚合物分子单层膜装置的基础上,研究制备大面积、高质量的PMMALB膜抗蚀层,并用于100mmCr掩模版的电子束光刻制造技术中,采用现行标准的湿法工艺获得了分辨率为0.5μm, |
| 关 键 词：铬掩模版制造 高分辨率光刻 电子束 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1996年
003期
作者:益国
|
| |
| 关 键 词：NEC公司 激光焊接 |
