微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:郭大琪
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
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| 关 键 词：封装集成 集成电路芯片 引线键合 芯片键合 金属化 键合引线 陶瓷外壳 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:陶建中
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| 关 键 词：氧化层厚度 SOI市场 硅片粘合 SIMOX材料 CMOS电路 离子注入机 SOI材料 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:洪雷萍
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| 关 键 词：发展概况 韩国 半导体工业 新加坡 台湾省 亚太地区 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:林耀泽
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：生产效率 缺陷密度 半导体制造 微电子工业 成品率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:LAWRENCE
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| 该文给出了制备离子注入的规范参考样品(SRM)的方法.这将为离子注入设备及测试设备的检测和验证提供可靠的手段,规范参考样品应该是硅片,硅片经由特定的杂质,确定的能量和剂量注入,且其平均方块电阻和均匀性 |
| 关 键 词：方块电阻 氧化层 离子注入 注入机 电阻率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:王萃东
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| 该文主要从解剖TMS320C25电路中的状态寄存器,辅助寄存器和辅助寄存器运算单元着手,分析各状态寄存器、辅助寄存器及辅助寄存器运算单元的单元电路和部分时序,介绍其功能及其工作原理. |
| 关 键 词：辅助寄存器 状态寄存器 指令寄存器 单元电路 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:苏黎
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| 关 键 词：外观检查 CAD/CAM 微细图形 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:李志宏
作者单位:北京大学微电子学研究院 |
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| 关 键 词：多层互连 应力释放 可靠性 扩散蠕变 电迁移 应力迁移 扩散系数 钝化层 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:盛柏桢
作者单位:南京电子工业部五十五所 |
| 八十年代以来,微波半导体技术的迅速发展,应用领域不断扩大,为适应微波、毫米波半导体技术的发展,近年来已出现不少新结构、新器件,如异质结双极晶体管(HBT)、高电子迁移李晶体管(HEMT)、双极反型沟道 |
| 关 键 词：异质结构 半导体器件 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
003期
作者:洪雷萍
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| 关 键 词：多层布线 间隙填充 腐蚀工艺 设计规则 深腐蚀 平坦化 |
