微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:林耀泽
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| 关 键 词：亚微米技术 超纯水 配管材料 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:陶建中
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| 关 键 词：光刻机 套刻精度 微细图形 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:张利民
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| 关 键 词：多层布线 微组装技术 多芯片模块 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:顾宁鲁
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| 关 键 词：光敏玻璃 微电子学 应用 掩模技术 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:胡道媛
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| 关 键 词：掩模缺陷 自动检测 应用 集成电路 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:洪雷萍
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| 关 键 词：ULSI 金属化 布线 互连 铜金属化 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:徐婕
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| 关 键 词：数字信号处理 计数器 电路分析 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:初桂珍
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| 关 键 词：MOS集成电路 工艺 VLSI |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:郁一峰
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| 关 键 词：存储器 兆位级 硅淀积 选择性 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1993年
021 卷
005期
作者:孙威
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| 关 键 词：颗粒度分析 图像分析仪 |
