微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:反田哲史
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| 关 键 词：CVD膜 台阶覆盖 成膜分子 表面粘附 覆盖率 聚合物浓度 TEOS 覆盖性 添加效果 成膜速度 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:长城
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| 关 键 词：批量生产 低电压 微细加工技术 功耗电流 德克萨斯仪器公司 共同开发 电源布线 低噪声设计 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:小室雅宏
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| 关 键 词：偏压溅射 CVD法 平坦化技术 TEOS 等离子 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:湖心
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| 关 键 词：高速存取时间 批量生产 莫托罗拉公司 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:陈中佛
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：CVD法 有机源 CVD技术 CVD工艺 TEOS 平坦化 LPCVD 工艺方法 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:金井史幸
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| 关 键 词：流量比 等离子氧化 有机源 CVD技术 平坦化技术 TEOS 聚合体 金属层 高分子量 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:松浦正纯
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| 关 键 词：流量比 形成温度 形成速度 形成条件 CVD技术 TEOS 热氧化膜 等离子 底表面 形成特性 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:谷村雄二
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| 关 键 词：等离子体处理 等离子处理 流量比 CVD技术 脉冲激励 TEOS 聚合体 连续激励 单元工艺 腐蚀速率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:万向
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| 关 键 词：汤姆逊 表面组装 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:本间哲哉
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| 关 键 词：CVD法 多层布线 层间绝缘 红外吸收光谱 介电常数 绝缘膜 |
