微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:丁荣峥
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
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| 关 键 词：高可靠 峰值温度 气密性 玻璃浆料 低温玻璃 玻璃熔封 恒温时间 机械强度 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:初桂珍
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文介绍低温生长的薄LPCVD二氧化硅膜经短时间热退火后,热氮化后的物理及电学性质.与热生长二氧化硅膜性质进行比较,结果表明,LPCVD二氧化硅膜许多性质优于热生长二氧化硅膜.适合做MOS晶体管的栅介 |
| 关 键 词：二氧化硅膜 LPCVD 栅介质 热生长氧化 MOS晶体管 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:武国英
作者单位:北京大学 |
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| 关 键 词：多层互连 可靠性 电迁移失效 电迁移寿命 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:一凡
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| 关 键 词：双极电路 漏电流 双极IC 环形振荡器 载流于浓度 隧道效应 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:平凡
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| 关 键 词：读出放大器 受激准分子 输入阻抗 日本索尼公司 反馈型 信号电平 激光光刻 超微细加工技术 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:李文树
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：蜂窝电话 手持机 专用大规模集成电路 蜂窝移动通信 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:费仲兴
作者单位:华晶电子集团公司双极电路总厂 |
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| 关 键 词：显象管 积分电路 视频放大 回扫脉冲 环境温度 几个问题 应用中 视频信号 电视机 电源电压 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:王毅
作者单位:西安微电子技术研究所 |
| 简要介绍1991年以来日本半导体制造设备市场的概况,CVD设备、清洗设备、半导体测试设备市场的困境与发展潜力.预计日本半导体制造设备市场还会平淡一段时间,但有些设备的出口潜力很大. |
| 关 键 词：清洗设备 测试仪 半导体制造 日本 设备市场 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:一凡
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| 关 键 词：微细加工 小型化 薄膜生长 基本技术 NTT公司 CMOS电路 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
002期
作者:华亚平
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 作者采用HCl和HBr作为刻蚀气体,在Tegal1611设备上刻蚀Poly－Si,研究了工艺条件,如压力、功率等对工艺结果的影响,得到了相当好的工艺结果,并成功地应用于125mm晶片MOS电路的大生产 |
| 关 键 词：高选择性 投影光刻机 高均匀性 硅刻蚀 光刻胶 多晶硅 |
