微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:苏雪莲
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：超大规模集成电路 真机 专项工程 日本 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:李祥
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| 对正性光刻胶进行UV坚膜处理,可有效地保持图形形貌的完整性,并提高抗蚀性能,可消除等离子刻蚀中容易产生的燃胶等现象,但坚膜用起始温度、终点温度、温升速率及UV光照时间等参数对坚膜效果均会产生较大的影响 |
| 关 键 词：温升速率 等离子刻蚀 坚膜处理 光刻胶 光照时间 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文叙述了从西门子、东芝引进的2~3微米MOSIC生产线上,由于离子注入设备的不同,在工艺转换过程中由中方技术人员所解决的几个重要问题.1.用固体(磷、砷)源成功地替代了气体(磷烷、砷烷)源材料.并用 |
| 关 键 词：工艺转换 西门子 方块电阻 MOSIC 大束流 离子注入 注入机 生产线 注入工艺 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:江鸿
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
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| 关 键 词：混合气体 均匀性 腐蚀速率 SI_3N_4 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:苏黎
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| 关 键 词：超高速 松下电器 高速电路 技术特点 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:一凡
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| 关 键 词：低功耗 耗散功率 GAASFET DEMUX |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:李黎
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| 关 键 词：集成注入逻辑电路 漏电流 载流子浓度 双极集成电路 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:石松
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| 关 键 词：GAAS集成电路 技术中心 初期生产 硅圆片 巨型计算机 半导体 年生产能力 政府所有 生产工厂 印度 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:王雁星
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文描述了集成电路制造中低弧度键合工艺的产生及特点,从金丝的认定、设备工艺的调整进行低弧度键合工艺试验.最后对低孤度键合工艺进行了总结. |
| 关 键 词：低弧度键合 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:于向东
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文以KLA－221型自动掩模缺陷检查系统硬件资源为研究工具.详尽地描述了ULSI掩模缺陷检查的实际意义、缺陷检查的原理、检查模式.提出了如何保证缺陷检查的捕俘率以及降低伪缺陷的方法.对单层掩模版的图 |
| 关 键 词：成品率预测 掩模版 缺陷检查 伪缺陷 检查技术 掩模缺陷 |
