微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:一凡
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| 关 键 词：电子产业 批量生产 生产体制 韩国 月生产能力 生产线 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:R.AIIENBOWLING
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| 德克萨斯仪器公司(TI)、预研规划局(ARPA)和空军三家联合的微电子制造科学与技术(MMST)工程中,片子清洗工艺的目标是开发平片的全干法或气相清洗工艺,旨在全部地取代湿法清洗工艺.HF气相清洗和等 |
| 关 键 词：氧化物 全干法 浸泡工艺 硅片清洗 金属化 清洗工艺 MMST 剥离工艺 光刻胶 多晶硅 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:ZACHARYJ.LEMNIOS
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| 关 键 词：虚拟产品 虚拟工厂 工艺合成 计算机辅助设计 可靠性 工艺步骤 MMST 工艺规范 电路设计 计量学 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:滕敬信
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：制造业 CIMS技术 微电子产业 新世纪 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:陈鸣
作者单位:中国华晶集团中央研究所 |
| 该文通过一些简单的例子,提醒读者认识在半导体行业中存在的"自动化孤岛",以及这种现状对企业整体效益发挥的严重影响和对我国半导体事业发展的妨碍,再次呼吁半导体行业要克服各自企业内部的种种困难,尽早应用C |
| 关 键 词：集成电路设计 自动化 孤岛 测试程序 半导体行业 质量控制 CIMS技术 逻辑模拟 子行业 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:奥野治臣
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| 关 键 词：生产线 生产系统 半导体生产 半导体产业 工厂自动化 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:GABRIELG
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| 在MMST规划中,为得到期望的快周期、低成本的硅片加工工艺,大多数腐蚀工艺是在TI(德克萨斯仪器公司)设计和建造的先进的真空反应设备上完成的.用于反应离子刻蚀和微波刻蚀的设备与原位探测器相结合,并与全 |
| 关 键 词：探测器 单色仪 反应室 工艺控制 椭圆仪 腐蚀工艺 多晶硅 腐蚀速率 |
