期刊封面
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| 双月刊 1972 |
期刊信息
| 主管单位： | 信息产业部 |
| 主编： | 桑宇清 |
| ISSN： | 1008-0147 |
| CN： | 32-1479/TN |
| 地址： | 江苏省无锡市梁溪路14号（无锡105信箱） |
| 邮政编码： | 214061 |
| 电话： | 0510-85807123-2228 |
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微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
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| 11. 以四氯化碳代替三氯乙烯进行铬版等刻技术研究 |
| [中文期刊] 刊名:《微电子技术》 1997年 002期 作者:赵丽新 作者单位:无锡华润微电子有限公司 | |
| 关 键 词：刻蚀气体 射频功率 氯化碳 三氯乙烯 等离子刻蚀 工艺条件 低温等离子体 刻蚀速率 铬版 工作气体压力 |