微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:董逸生
作者单位:东南大学 |
| 该文简要地论述了信息集成是实现CIMS集成的核心,着重阐述了支持信息集成的主要技术,它们包括网络技术、分布式数据库技术、C/s体系结构、中间件及分布计算环境等. |
| 关 键 词：应用程序接口(API) 分布式 数据库技术 支撑技术 计算模式 信息集成 数据库管理系统 数据库系统 CIMS 数据库服务器 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:张纯蓓
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| 半导体工业正面临许多挑战:IC制造厂家的投资和技术开发费用的增长速度高于收入的增长,此外,IC的需求市场正在向小批量、多品种转移.常规的生产方式是建造大型芯片制造厂,生产的电路批量大而周期长.为了保持 |
| 关 键 词：制造厂 大批量生产 程控 虚拟工厂 IC制造 半导体制造 21世纪 多功能设备 制造技术 计算机集成制造(CIM) |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:一凡
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| 关 键 词：NEC公司 CMOS技术 超级计算机 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:ROBERTRDOERING
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| 自控成本(COO)分析法,作为一种对所购设备进行潜在成本─效益平衡评价的工具,已开始为半导体产业界所接受.但是,该方法仅被优化用于传统的大规模硅片制造厂.而且标准的COO分析模型通常应用于单道工序(即 |
| 关 键 词：柔性生产 分析方法 机会成本 成品率 统计工艺控制 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:ALLENBOWLING
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| 随着器件尺寸的不断缩小,沾污控制变得日趋关键,就目前的技术水平而言,只能在硅片的净化间存放、传递及加工环境等方面进行治污控制.为满足将来的需要,MMST工程研制了一种专门的微环境,用来进行硅片处理.硅 |
| 关 键 词：工艺控制 反应室 净化间 界面控制 工艺设备 控制策略 微环境 加工过程 真空设备 MMST |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:一凡
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| 关 键 词：半导体存储器 日本 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:M.M.MOSLEHI
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| 采用快速周转的单片工艺进行IC生产,可避免传统成批处理的不灵活性和高费用问题.一个柔性的单片微型工厂包括34个与各种工艺能源(Processenergysources)和原位监测和控制探测器相结合的单 |
| 关 键 词：工艺控制 多区域 原位探测 均匀性控制 微型工厂 高温探测器 柔性生产 快速热处理 放射率 照明器 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
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| 关 键 词：集成系统中心 快速热氧化 生产执行系统 缩略 等离子增强 四乙氧基硅烷 快速热退火 内部模型控制 德克萨斯仪器公司 物理汽相淀积 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:CHARLESSCHAPER
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| 在RTP半导体器件制造设备中;为控制硅片温度的均匀性和重复性,采用了一种实时多变的策略.它基于工艺的物理模型,采用实验设计程序来估算模型参数.轴心对称加热区域中多区阵列灯的功率采用内部模型控制法则(I |
| 关 键 词：控制系统 温度探测器 复性 控制器 控制策略 温度控制 高温计 反应器 柔性生产技术 非均匀性 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:ROBERTR.DOERING
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| 关 键 词：工艺控制 设备供应商 探测器 快速热处理 CIM系统 技术可行性 德克萨斯仪器公司 MMST 工艺流程 生产线 |
