微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:石松
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| 关 键 词：薄膜晶体管 LCD生产线 日本 半导体生产线 生产能力 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:李祥
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| 集成电路的发展使硅槽的应用越来越广泛,如硅槽隔离和硅槽电容等等,它们将使器件的性能得到很好的改善.我们侧重研究了以Cl2和SF6为腐蚀剂的硅槽刻蚀工艺,对气体流量、射频功率和反应压力以及电极温度等工艺 |
| 关 键 词：选择比 等离子体密度 "黑硅" 反应室 硅槽刻蚀 聚合物 反应压力 工艺条件 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:陈奉明
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：计算机辅助设计 标注尺寸 模具设计 CAD技术 排样设计 DRAFTING 卸料板 集成电路引线框架 子模 塑封模 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
001期
作者:黄廷荣
作者单位:电子部第55研究所 |
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| 关 键 词：人造金刚石 陶瓷材料 工艺技术 陶瓷基板 基板材料 热膨胀系数 热导率 介电常数 共烧陶瓷 |
