微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
作者:松川
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| 关 键 词：销售额增加 大公司 1994年 电子工业 南朝鲜 储器 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
作者:一凡
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| 关 键 词：栅电极 硅衬底 电子能 晶格结构 晶粒大小 电子存储器 行存储器 成十字形 硅氧化 多晶硅 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
作者:王毅
作者单位:西安微电子技术研究所 |
| 该文介绍MCM对介质材料的一般要求,不同MCM使用的介质及其成膜技术,重点介绍以聚酰亚胺为代表的有机介质材料的性能及其相关制造技术. |
| 关 键 词：介质材料 光致抗蚀剂 成膜技术 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
作者:长风
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| 关 键 词：1993年 销售状况 半导体工业 集成电路 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
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| 关 键 词：寄生电阻 硅化物技术 MOSFET 高速性 微细化 高可靠性 电子束曝光 最佳热处理工艺 新开发 最佳设计 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
作者:张纯蓓
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：韩国 微电子工业 新加坡 微电子技术 成品率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
作者:一凡
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| 关 键 词：发混 夏普公司 计算机系统 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
作者:石松
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| 关 键 词：微芯片 东德 研究与开发 西门子公司 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
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| 关 键 词：激光束 电迁移 VLSI 加热法 布线 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
006期
作者:益群
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| 关 键 词：运转率 国家半导体公司 清洗技术 工作单元 产品质量 游离基 提高成品率 ISSM 清洗工艺 离子注入 |
