微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:池田浩一
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| 关 键 词：CVD膜 TEOS 氧供给量 极大点 沉积速度 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:前田和夫
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| 关 键 词：CVD膜 流动温度 常压 CVD技术 TEOS 平坦化 GEO_2 流动特性 VLSI器件 绝缘膜 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:益群
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| 关 键 词：中国广东 开始生产 杜邦公司 厚膜 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:松川
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| 关 键 词：连续化 月产量 占地面积 NEC公司 日本 首都钢铁公司 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:水野晋介
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| 关 键 词：CVD膜 叠层结构 TEOS 等离子 流量比 腐蚀速率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:松川
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| 关 键 词：相互合作 SIGE工艺 无线通信 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:吉村正树
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| 关 键 词：CVD法 CVD膜 流量比 成膜温度 常压 耐热性 TEOS 热处理 法制 耐湿性 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
004期
作者:佐藤淳一
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| 关 键 词：CVD法 CVD膜 成膜机理 环氧基 碱性催化剂 热收缩率 TEOS 等离子 红外吸收光谱 有机成分 |
