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期刊封面

双月刊 1972

期刊信息

主管单位：	信息产业部
主编：	桑宇清
ISSN：	1008-0147
CN：	32-1479/TN
地址：	江苏省无锡市梁溪路14号（无锡105信箱）
邮政编码：	214061
电话：	0510-85807123-2228
Email：	qbzls@mail.huajing.com.cn
网址：

微电子技术

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Microelectronic Technology

本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。

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11. 薄膜特性分析技术

	[中文期刊] 刊名:《微电子技术》 1994年 003期作者:钟大昌
	该文叙述了测量和分析薄膜结构特性、机械性能和成分的各种方法.并讨论了这些性能对于在电子器件中应用薄膜的重要性.还提出了薄膜现象研究中所采用的品种比较重要的诊断技术,主要技术是确定薄膜中原子类型及其排列
	关键词：分析技术薄膜特性背散射电子扫描电子显微镜二次电子 X射线电子束能量

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