微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:潘云芳
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
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| 关 键 词：重复性测量 测量仪 集成电路生产 空间结构 光学图形 强度分布 精确度误差 条宽 绝对误差 测量因素 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:聂海谱
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 高频电容法是测量P/P~+外延层电阻率的一种简单易行的新方法.这种方法,直接利用同质均匀掺杂外延层电阻率ρ与空间电荷电容Cs(势垒电容)平万的倒数关系,通过测量势垒电容Cs,直接得到P/P~+外延层的 |
| 关 键 词：相对误差 外延层 外延片 高频电容 势垒电容 层电阻 电阻率 测电阻 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:武国英
作者单位:北京大学微电子学研究院 |
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| 关 键 词：多层互连 失效元 电流密度 可靠性 表面扩散 电迁移失效 迁移特性 电迁移寿命 失效寿命 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
001期
作者:李黎
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| 关 键 词：单元库 高集成 单元集 产品商品化 微细加工技术 电路 |
