微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:王庆
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：内部基准 电阻基准 标准检定装置 测试系统 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:一凡
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| 关 键 词：高速存取时间 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:长风
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| 关 键 词：小间距 东芝公司 失效率 安装性能 放热性 成品率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:益群
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| 该文主要介绍了日本的各大半导体公司和安装公司均在争相开发一种与u1芯片尺寸几乎同等大小的小型管壳(CSP:chipsizepackage或ChipscalePackage).其中一部分已开始出售样品, |
| 关 键 词：管脚 电气工业 管壳 可靠性 芯片尺寸 陶瓷基板 印刷电路板 标准化 电子工业 插件板 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:俞诚
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 氨化硅的应力严重制约着它的应用,该文较详细地介绍了PECVC出xN,薄膜应力的大小与制备工艺及条件的关系,从而揭示了能有效地抑制Si_xN_y应力的工艺途径.文中给出了大量测试数据,并提供了许多实物照 |
| 关 键 词：射频功率 淀积温度 反应气体 PECVD 工艺条件 腐蚀速率 淀积速率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:吴可
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文对基于阻尼牛领法的电路优化设计[1]从两方面进行了改进:①采用了强迫矩阵正定的方法确保阻尼牛顿法收敛;③采用循环嵌套进归算法进行一维搜索,解决了一维函数多峰的问题.根据上述思想,编制了适用于正向设 |
| 关 键 词：阻尼牛顿法 优化设计 通用程序 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:洪雷平
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| 关 键 词：抛光布 化学-机械抛光 层间介质 抛光速率 平坦化技术 新技术 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:林耀泽
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| 该文以统计性的数据为依据,阐述超纯水水质对器件的影响,列出亚微米CMOS线上的水质实例.围绕现代超纯水水质参数中总有机碳这一中,G环节,讨论了降低该值的关键和相关问题的解决要点. |
| 关 键 词：亚微米技术 配管材料 离子交换树脂 水系统 生产线 现代超纯水 痕量分析 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:松川
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| 关 键 词：电子产业 批量生产 三星电子公司 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
005期
作者:刘宽荣
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| 关 键 词：气体放电管 固体放电管 充气放电管 |
