微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:兰强春
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| 计算机集成制造(CIM)把设备、人员和产品结合成一个制造系统.按传统方式,这些系统注重产品路线的制定,设备建立的条件、要求和方法、操作人员的培训和生产结果的追踪.它们是典型的基本网络系统,通过探测器或 |
| 关 键 词：工艺控制 工作站 预防维修 SMALLTALK CIM系统 目标管理 指令系统 用户接口 生产计划 半导体硅片 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:一凡
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| 关 键 词：1994年 三星电子公司 韩国 月生产能力 半导体生产 生产线 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:一凡
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| 关 键 词：工艺技术 NEC公司 微型计算机 英国 日本 生产线 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:一凡
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| 关 键 词：批量生产 光存储器 三星电子公司 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:GENEFULLER
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| MMST工程的光刻技术关键取决于i线(365nm)和深紫外(248nm)激光光学重复步进曝光机.大多数的图形层制作均使用传统的用湿法显影的抗蚀剂,而对关键的栅和金属层则采用"DESIRE"工艺,使用表 |
| 关 键 词：探测器 光刻工艺 光刻技术 处理系统 实时控制 CIM系统 步进光刻机 抗蚀剂 MMST 光刻胶 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:一凡
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| 关 键 词：抗蚀剂 富士通 准分子光刻 微细图形 日本 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:GABRIELG.BARNA
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| 该文介绍了微电子制造科学和技术(MMST)规划中所要使用的设备及工艺,这些工艺是在由测试台(AVP,由TI公司,设计和制造的先进真空处理器)和商品化的生产设备组合而成的系统中以单片方式实现的.所有的A |
| 关 键 词：探测器 硅烷化 工艺控制 制造技术 清洗工艺 反应器 MMST 光刻胶 多晶硅 干法显影 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:PIETERBURGGRAAF
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| 关 键 词：模拟语言 周期时间 生产管理 模拟模型 半导体生产 仿真模型 模拟器 表模型 设备使用率 虚拟 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:富畛哲志
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| 关 键 词：设计技术 信息系统 诊断法 CIM系统 技术基础结构 经营战略 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
003期
作者:RICHARDBEAVER
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| 该文介绍了MMST设备控制体系的组成结构,开发出的这一体系可以快速装备到目前所使用的硅片制造设备中,同时还考虑了完全倒置的设备控制软件的应用.MMST设备控制体系是为适应目前尚在半导体设备制造商开发之 |
| 关 键 词：控制系统 工艺控制 反应室 设备控制 机械手 控制软件 MMST |
