微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:范成建
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| |
| 关 键 词：大生产 投影光刻机 接触式曝光 均匀性 接触式光刻 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:许平平
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文介绍了对黑白电视机电路CD1366CP在流通过程中成品率偏低的异常批的分析.从中可以看出,失效分析技术在产品研制、流通过程中的应用. |
| 关 键 词：失效分析技术 产品流通 肖特基二极管 失效机理 成品率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:刘建都
作者单位:空军导弹学院 |
| 随着器件尺寸的减小和集成度的提高,CMOS技术将成为数字VLSI电路的主要技术.但是,由于CMOS电路本身结构的一些特点,使电路中管子的开路故障不能用现有的测试程序产生可靠的测试码.因此,出现了许多C |
| 关 键 词：开路故障 可测性设计 测试码 传输门 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:沈水龙
作者单位:中国华晶电子集团公司中央研究所 |
| |
| 关 键 词：寄存器号 控制器 微动台 计算机系统 命令寄存器 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:李其中
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文筒要阐述了1:1铬版复印图像反转的原理和主要装置.着重讨论了几个重点工艺参数的选择.最后给出1:1复印图像反转铅版图形的CD精度. |
| 关 键 词：图像反转 茚 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:蔡菊荣
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文闸述了当前在CMOS和DRAM中,柳氧化层、IMD、DRAM电容器三个方面所用的低介质常数和高介质常数材料的研究动态以及发展方向. |
| 关 键 词：介质材料 栅氧化层 介质常数 层间介质 电容器介质 研究动态 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:聂海谱
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文研究了探针的软接触技术,给出了软探针的结构示意图,介绍了软探针的特点、制造和应用. |
| 关 键 词：软接触 空间分辨力 探针测试 理化特性 外引线 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:春晓
|
| |
| 关 键 词：FLASH |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:钱伟成
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| |
| 关 键 词：驻极体送话器 双音多频 通话电路 技术要求 工作电压 按键电话机 压电蜂鸣器 脉冲拨号 放大器增益 测量方法 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1995年
002期
作者:松川
|
| |
| 关 键 词：粒子污染 半导体设备 制造设备 净化室 产品成品 超LSI 半导体制造工艺 |
