微电子技术
Microelectronic Technology
本刊是国家科技部、国家新闻出版局批准的国家正式出版物，国内外公开发行。它是由信息产业部主管，中国华晶电子集团公司主办的科学技术刊物。本刊以从事半导体和做电子研究与生产的在职职员、科研学者、大中专院校师生以及电子行业的各级管理人员和计算机、通信、电子系统应用单位的技术人员为主要对象，是一种集学术性、技术性、应用性、信息性于一体的科技刊物。
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
作者:一凡
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| 关 键 词：批量生产 共同开发 缺陷弥补 微细加工技术 耗散电流 新型高效率 低噪声设计 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
作者:一凡
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| 关 键 词：毫米波通信 晶体管 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
作者:舒学镛
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 随着微电子技术的高速发展,尤其是微细加工技术的突破,器件按比例缩小至涤亚微米(0.25μm)以下时,传统体硅工艺已不适用了,而薄膜SOI器件因具有集成度高、工作速度快、抗辐照能力强以及工艺简便等优点而 |
| 关 键 词：薄膜SOI 研究和发展 SIMOX SOI技术 MOS器件 均匀性 离子注入 热载流子 研究动向 SOI器件 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
作者:一凡
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| 关 键 词：富士通 量子效应 晶体管 发射极 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
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| 关 键 词： |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
作者:一凡
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| 关 键 词：声音识别 信息处理结构 神经 耗散功率 计算机 基本电路 图像处理 细胞结合 便携式电子设备 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
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| 关 键 词：电子设备 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
作者:陈中佛
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
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| 关 键 词：建设周期 IC产业 生产技术 集成电路产业 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
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| 关 键 词：充填能力 亚微米 平面化 储器 工艺条件 腐蚀速率 淀积速率 |
| [中文期刊]
刊名:《微电子技术》
1994年
005期
作者:初桂珍
作者单位:无锡华润微电子有限公司 |
| 该文介绍一种用于超大规模集成电路的最新非对称轻掺杂漏(LDD)结构.该结构采用液相选择氧化物淀积技术和离子注入技术.在MOS晶体管的漏端形成轻掺杂的N-或P-区.使LDD结构源端串联电阻大大减小.这种 |
| 关 键 词：选择氧化 导通电流 LDD结构 漏电流 MOS晶体管 CMOS工艺 非对称 轻掺杂 |
